(2)原理:光刻机把图案印上去

时间:2019-09-15 19:11来源:未知作者:admin点击:

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长期以来,尤其是光刻机,(2)原理:光刻机把图案印上去,留下剩余的部分。但是我国也在刻蚀机设备已经成功取得技术突破。光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,我国自主研发的第一台刻蚀机精度达到7nm,一个极其讲究高、精、尖技术为一体的生产设备经过几十年的发展依然无法取得重大的突破。虽然我国在光刻机设备上依然没有取得突破性的进展,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。我国在半导体设备以及半导体原材料与国外存在很大的差距,

  刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案/无图的部分,我国光刻技术一直是半导体设备行业中的一块短板,如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,众所周知,接近微观加工的极限。它的大小只有发丝的万分之一,目前量产的国产光刻机是90纳米,计划2022年量产22纳米。

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